物理・表面計測系

オートファインコーター

メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JEC-3000FC
設置場所 2号館9階909A室
管理室 透過型電子顕微鏡室III
公開範囲 学内のみ

主に走査電子顕微鏡の試料作製装置として、ターゲットに白金(標準装備)を用いて、非導電性試料にコーティングを行うイオンスパッタ装置です。
試料回転傾斜装置を装着し、試料を回転傾斜することにより、凹凸の激しい試料にも良好なコーティングができます。

装置性能および仕様

使用圧力 20 Pa以下
ターゲット 白金,(金)

分析対象

試料サイズ 試料台:直径 64 mm
試料回転傾斜装置装着時の試料載台:直径 32 mm,直径 12.5 mm

分析対象不可

(1) 毒物、危険物
(2) ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料

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