物理・表面計測系

真空蒸着装置

メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JEE-420T
設置場所 2号館9階909A室
管理室 透過型電子顕微鏡室III
公開範囲 学内のみ

透過電子顕微鏡および走査電子顕微鏡などでの分析・高分解能観察に適したカーボン膜、各種金属蒸着膜の作製、シャドーイング、あるいは非導電性材に導電性を与えるためのコーティング処理が可能です。
試料回転傾斜装置を装着し、試料を回転傾斜することにより、凹凸の激しい試料にも良好なコーティングができます。

装置性能および仕様

到達圧力 1×10-4 Pa以下
蒸着用電極 2極(カーボン、金属)

分析対象

試料サイズ 試料回転傾斜装置装着時の試料載台:直径 25.4 mm,直径 12.5 mm

分析対象不可

(1)毒物、危険物

(2)ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料

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