物理・表面計測系

電界放出形透過電子顕微鏡

jem2100f
メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JEM-2100F
設置場所 22号館214室
管理室 透過型電子顕微鏡室II
公開範囲 学内外

高輝度で高い干渉性、しかも高い安定度の電子線が得られるフィールドエミッション電子銃(FEG)を搭載し、ナノスケールオーダの高分解能像観察やEDS、EELSでの分析ができます。また、走査透過型電子顕微鏡観察が可能で、分析機能と組み合わせることで、EDSマッピングやEELSマッピングができます。

装置性能および仕様

加速電圧 120 or 200 kV
電子銃 ショットキー型フィールドエミッション
観察モード 透過型電子顕微鏡(TEM)、走査透過型電子顕微鏡(STEM)、電子回折(ED)
分析機能 エネルギー分散型X線分光器(EDS)、電子エネルギー損失分光器(EELS)
記録装置 CCDカメラ①(サイドマウント):主に中低倍および電子回折用
CCDカメラ②(ボトムマウント):主に高分解能用
試料ホルダー 一軸傾斜ホルダー、二軸傾斜ホルダー、分析用Be一軸傾斜ホルダー、加熱二軸傾斜ホルダー、液体窒素二軸傾斜冷却ホルダー、界面接合ホルダー

分析対象

状態 無機物質
試料サイズ 試料はφ3mmのTEM用メッシュに載っている必要があります

■分析不可

磁性体および有機物は応相談

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学内利用方法および利用料金

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