物理・表面計測系

集束イオンビーム加工観察装置

jem9320fib
メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JEM-9320FIB
設置場所 22号館414室
管理室 電子顕微鏡試料作成室
公開範囲 学内外

透過電子顕微鏡観察試料の作製を目的とした装置です。加工後、大気下で光学顕微鏡を利用したピックアップシステムで試料をTEMメッシュに移しかえます。

装置性能および仕様

イオン銃 ガリウム液体金属源
加速電圧 5~30kV(5kVステップ)
加工形状 矩形、ライン、スポット

分析対象

状態 非導電性試料は金属蒸着などで導電性にしてください
試料サイズ 縦、横サイズはφ10mm以内かつ高さ1mm程度

■分析不可

ガリウムが試料内に残るのでガリウムを含む試料の元素分析には向きません

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学内利用方法および利用料金

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