物理・表面計測系

原子分解能分析電子顕微鏡

jemarm200f
メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JEM-ARM200F
設置場所 2号館121B室
管理室 透過型電子顕微鏡室V
公開範囲 学内外

収差補正器を用いて0.1 nm以下の電子線プローブを作ることができます。それを用いて原子分解能での走査透過電子顕微鏡(STEM)像を得ることができます。また、STEMとEDSやEELSを組み合わせることで元素マッピングを原子分解能で行うことができます。その他、通常の高分解能TEM像や電子回折図形をデジタルデータで撮影することができます。

装置性能および仕様

加速電圧 80 or 200 kV
電子銃 冷陰極型フィールドエミッション
観察モード 透過型電子顕微鏡(TEM)、走査透過型電子顕微鏡(STEM)、電子回折(ED)、エネルギーフィルター(EFTEM)
分析機能 エネルギー分散型X線分光器(EDS)、電子エネルギー損失分光器(EELS)
記録装置 CCDカメラ①(サイドマウント):主に中低倍および電子回折用
CCDカメラ②(ボトムマウント):主に高分解能用
CCDカメラ③(GIFに装着):主にエネルギーフィルター像の撮影用
試料ホルダー 一軸傾斜ホルダー、二軸傾斜ホルダー、分析用Be二軸傾斜ホルダー、加熱二軸傾斜ホルダー、液体窒素二軸傾斜冷却ホルダー、界面接合ホルダー

分析対象

状態 無機物質
試料サイズ 試料はφ3mmのTEM用メッシュに載っている必要があります

■分析不可

磁性体および有機物は応相談

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学内利用方法および利用料金

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。 利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター>03-09産学官金連携機構設備共用部門>01 料金表

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