物理・表面計測系

透過型電子顕微鏡

jemz2500-1
jemz2500-2
メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JEM-z2500(後継機:JEM-2800)
設置場所 2号館122B室
管理室 透過型電子顕微鏡室Ⅲ
公開範囲 学内外

JEM-z2500は透過像(TEM)、走査透過像(STEM)、二次電子像、電子回折の観察ができます。そして走査像モードではSTEM-BF像、STEM-DF像、二次電子像の同時観察が可能です。
その他、EDS分析による元素マッピング、電子線トモグラフィーによる三次元再構成もできます。
JEM-z2500は蛍光板を直接見ないので、明るい部屋で観察できます。

装置性能および仕様

電子銃 ショットキー電界放出形電子銃
加速電圧 200 kV, 100 kV, 80 kV
分解能 透過像(格子像):0.1 nm(加速電圧 200 kV)
走査透過像:0.2 nm(加速電圧 200 kV)
二次電子像(edge to edge):0.5 nm(加速電圧 200 kV)
倍率(24インチワイドLCD上) 透過像:×500 ~×20,000,000
走査透過像:×100 ~×20,000,000
二次電子像:×100 ~×20,000,000
元素分析 エネルギー分散型X線分光法(EDS)(検出元素 B~U)
その他の機能 電子線回折を用いた結晶方位解析
電子線トモグラフィー

分析対象

試料サイズ等 ・3mmΦ のグリッドに試料を載せて高真空中で観察する。
・電子線が透過できる厚さであることが必要

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学内利用方法および利用料金

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。 利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター>03-09産学官金連携機構設備共用部門>01 料金表

学外利用方法および利用料金

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