物理・表面計測系

走査電子顕微鏡

メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JSM-6010LA
設置場所 2号館9階909A室
管理室 透過型電子顕微鏡室III
公開範囲 学内のみ

多機能汎用SEMです。EDSによる元素分析が可能です。低真空モードにより絶縁物観察が前処理なしで行えます。

装置性能および仕様

フィラメント プリセンタードヘアピン型タングステン
分解能 高真空モード 4 nm(20 kV), 8 nm(3 kV), 15 nm(1 kV)
低真空モード 5 nm(20 kV)
倍率 × 5 ~× 300,000(画像サイズ128 mm × 96 mmにて)
画像モード 二次電子像、反射電子像(組成像、凹凸像、立体像)
低真空圧力 10 ~ 100 Pa
加速電圧 0.5 kV  ~  20 kV(43段)
EDS機能 スペクトル収集・点分析、定性分析・定量分析   元素マッピング、
プローブトラッキング

分析対象

試料サイズ 試料台:直径 10 mm,直径 32 mm

分析対象不可

(1)毒物、危険物
(2)ガスが発生するなど、装置の故障の原因となる試料
(3)強い磁化を持つ試料(磁性体については別途ご相談ください)
(4)前処理や分析過程で、装置に障害をきたす恐れがあると判断した試料

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