物理・表面計測系

走査型電子顕微鏡

jsm6510
メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JSM-6510
設置場所 22号館401室
管理室 走査電子顕微鏡室II
公開範囲 学内外

内部起電力像測定用プローブシステムにより、半導体デバイスの欠陥分析などに用いられる、EBIC測定、観察ができます。

装置性能および仕様

加速電圧 0.5 ~ 30kV
二次電子分解能 3 nm(30 kV)8 nm(3 kV)
反射電子分解能:4 nm(30 kV)
倍率 ×5 ~ ×300,000

分析対象

分析対象 固体(金属、酸化物、有機物、生物)

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学内利用方法および利用料金

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。 利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター>03-09大型設備基盤センター>01 料金表

学外利用方法および利用料金

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