物理・表面計測系

低加速電圧型ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡

jsm7800f
メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JSM-7800F
設置場所 22号館409号室
管理室 走査電子顕微鏡室III
公開範囲 学内外

JSM-7800FはEDS、カソードルミネッセンス検出器付きの低加速電圧型FE-SEMです。加速電圧を数kv以下にすることにより、絶縁体、電子ビームで損傷しやすい材料、高加速電圧では観察しにくい微細構造の観察ができます。

装置性能および仕様

加速電圧 0.01~30kv
照射電流 数pA~200nA
電子検出器 4個(下部、反射電子、上部、上部2次電子)
減速法対応 対応(試料印加電圧最高2kv)
倍率 ×25~×1,000,000
分解能 0.8nm(15kv)、1.2nm(1kv減速法)
付属検出器1 EDS(オックスフォードX-Max、素子サイズ80mm2、解析ソフトAztecEnergy)
付属検出器2 CL(カソードルミネッセンス)検出器(ガタンMonoCL4Elite)

分析対象

EDS分析 分析元素Be~、SiL線マッピング可能
CL測定 全光及び分光画像、スペクトル測定、PMT及びCCD、検出波長200~1600nm

■分析不可

低真空観察には対応していません

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学内利用方法および利用料金

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