物理・表面計測系

走査プローブ顕微鏡

jspm5200
メーカー 日本電子株式会社/td>
型番(形式) JSPM-5200
設置場所 22号館402室
管理室 X線マイクロアナライザー室
公開範囲 学内外

走査プローブ顕微鏡(SPM)はプローブ(探針)を試料に近づけて電子や原子間力を検出し、ナノスケールで構造を観察する顕微鏡である。金属、半導体、高分子材料、生体材料などの試料観察ができ、自動車産業、半導体産業、電子機器産業などに適用可能である。

装置性能および仕様

分解能 原子分解能(AFM, STM)
水平:0.1nm
垂直:0.01nm
測定モード コンタクトモードAFM、ACモードAFM、ノンコンタクトモードAFM、STM
走査範囲 X,Y : 0~20um
Z : 0~3um

分析対象

状態 固体
物質 金属、半導体、高分子、有機物、セラミックス、生体試料
最大試料サイズ 50mm×50mm×5

■分析不可

絶縁体(STM)

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学内利用方法および利用料金

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