物理・表面計測系

軟X線分析装置

jxa8230
メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JXA-8230
設置場所 2号館113B室
管理室 軟X線分光室
公開範囲 学内外

熱電子放出方式の電子線源と、軟X線領域に検出感度の高い分光器を有した元素分析装置です。そのため、リチウムやホウ素などの軽元素を含む材料の定性・定量・線・面分析等ができます。表面から深さ2~3µmまでの平均的組成を精度よく分析できます。

装置性能および仕様

分析元素範囲 WDS : B~U
EDS : B~U
X線分光範囲 WDS分光範囲 : 0.087〜9.3nm,
EDSエネルギーレンジ : 20keV
X線分光器数 WDS : 4基
EDS : 1基
加速電圧 0.2~30kV
照射電流範囲 10-12~10-5A
二次電子分解能 5nm (WD:11 mm, 30 kV)
走査倍率 × 40 ~ × 300,000 (WD:11 mm)

分析対象

状態 固体
物質 金属、半導体、鉱物、高分子、セラミックス
最大試料サイズ 100mm × 100mm × 50mm

■分析不可

水分やガスを多く含むもの、磁性材料

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学内利用方法および利用料金

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。 利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター>03-09大型設備基盤センター>01 料金表

学外利用方法および利用料金

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