物理・表面計測系

電界放出型電子プローブマイクロアナライザ

jxa8530f
メーカー 日本電子株式会社
型番(形式) JXA-8530F
設置場所 22号館402室
管理室 X線マイクロアナライザー室
公開範囲 学内外

電子プローブマイクロアナライザー(FE-EPMA)は固体表面に電子線を照射し、二次電子や反射電子などによる像観察と同時に、試料から発生する特性X線を検出して、構成元素とその量を測定することができる。金属、半導体、セラミックス、鉱物などの定量分析、定性分析、さらに線分析、面分析、相分析ができる。自動車産業、半導体産業、高分子・金属材料産業、電子機器産業などに適用可能である。

装置性能および仕様

分析元素範囲 WDS : Be~U
EDS : B~U
X線分光範囲 WDS分光範囲 : 0.087〜9.3nm,
EDSエネルギーレンジ : 20keV
X線分光器数 WDS : 3基
EDS : 2基
加速電圧 1~30kV
照射電流範囲 10-12~ 5×10-7A
二次電子分解能 3 nm (WD:11 mm, 30 kV)
分析条件最小プローブ径 40 nm (10 kV, 1×10-8 A)
100 nm (10 kV, 1×10-7 A)
走査倍率 × 40 ~ × 300,000 (W D:11 mm)

分析対象

状態 固体
物質 金属、半導体、鉱物、高分子、セラミックス
最大試料サイズ 100 mm × 100 mm × 50 mm

■分析不可

水分やガスを多く含むもの、磁性材料

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学内利用方法および利用料金

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