物理・表面計測系

飛行時間型2次イオン質量分析装置

phitriftv
メーカー アルバック・ファイ
型番(形式) PHI TRIFTV nanoTOF
設置場所 22号館159室
管理室 2次イオン質量分析室
公開範囲 学内外

表面と吸着する原子状及び分子状の物質を静的に表面から引き離し、その分子量を同定します。Arクラスタービームを用いることにより有機物の深さ方向分析が可能となります。例えば、Liイオン電池の表面近傍のLiや他の不純物の吸着状態を観測するなどに利用できます。

装置性能および仕様

1次イオン銃 Bi32+
スパッタ銃 Arガスクラスター銃(GCIB)
Csイオン銃
Ar/酸素ガスイオン銃
質量分析 飛行時間型質量分析計
質量分解能 無機材料:9000M/Δm以上
有機材料(PET):9000M/Δm以上
試料導入 トランスファーベッセルの使用可

分析対象

試料サイズ 10mm×10mm程度
(その他のサイズも可能.要相談)
状態 ウェハ状,パウダー状

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学内利用方法および利用料金

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。 利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター>03-09大型設備基盤センター>01 料金表

学外利用方法および利用料金

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