物理・表面計測系

精密イオンポリシングシステム

pips2
メーカー Gatan
型番(形式) PIPS2 Mode l695
設置場所 22号館213室
管理室 透過型電子顕微鏡室II
公開範囲 学内

厚さ100マイクロメートル以下の無機物質を透過型電子顕微鏡観察での電子線が透過するまで薄膜化する装置です。また、加工の最終段階として表面を100Vのイオン加速電圧でクリーニングする機能があります。

装置性能および仕様

イオン銃 Ar+ イオンビーム
加速電圧 0.1~5 kV
加工形状 楕円形状の薄膜化範囲
オプション 液体窒素での試料冷却機能あり

加工対象

試料 セラミックス、金属等無機物質
試料サイズ φ3mm以下、厚さ100μm以下(20μm以下が好ましい)

■分析不可

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学内利用方法および利用料金

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