物理・表面計測系

2次イオン質量分析装置

sims4000
メーカー ATOMICA
型番(形式) SIMS-4000
設置場所 2号館612B室
管理室 2次イオン質量分析室
公開範囲 学内外

イオンを試料に衝突させて、表面の元素をはじき飛ばしてその質量を検出するものである。これにより試料の構成元素を調べることができる。まるでシャベルで穴を掘るようにして深さ方向の分析ができる。金属、半導体、絶縁体試料中の不純物元素やその表面に吸着した元素も調べることができ、オージェ電子分光分析(AES)測定に比べて高感度で計測出来る点が特徴である。

装置性能および仕様

1次イオン銃 酸素イオン
加速エネルギー 5keV ~ 10keV
質量分析 四重極質量分析計
質量分解能 0.1amu

分析対象

試料サイズ 7mm×7mm
厚さ1mm程度
状態 硬質基板状

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学内利用方法および利用料金

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