物理・表面計測系

表面粗さ計

surfcom1400
メーカー 東京精密
型番(形式) SURFCOM 1400
設置場所 22号館222号室
管理室 表面粗さ計室
公開範囲 学内のみ

触針を試料表面に落とし横方向に移動させ、試料表面の形状にそった触針の上下動を増幅することで、形状プロファイルが得られる。

装置性能および仕様

縦方向分解能 最小0.02μm(通常測定子)、0.1nm(高倍率測定子)
触針測定力 0.7mN(通常測定子)、0.2mN(高倍率測定子)

分析対象

状態基板上の堆積膜など多様な試料に対応可能。

■分析不可

柔らかい・脆い試料は、触針で破壊され測定できないことがある。

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学内利用方法および利用料金

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。 利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター>03-09産学官金連携機構設備共用部門>01 料金表