物理・表面計測系

真空蒸着装置

vtr060m
メーカー アルバック
型番(形式) VTR-060M/ERH
設置場所 22号館164室
管理室 成膜室
公開範囲 学内のみ

抵抗加熱により、金属、絶縁物、半導体材料を成膜することができます。

装置性能および仕様

蒸着電極構成 2点式
基板サイズ 最大200mm
成膜コントローラー付き

分析対象

分析対象 真空蒸着装置は真空中で材料を加熱し、蒸発させることで蒸発原子を基板上に薄膜を形成させます。ボートを加熱させることで蒸着源を蒸発させるので、低融点な材料(AlやAgなのどの金属材料)を作製することに適しています。また、膜厚計を付属しているので、ナノメートルオーダーで膜厚を制御することが可能です。

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学内利用方法および利用料金

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。 利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。 e.センター>03-09産学官金連携機構設備共用部門>01 料金表