測定内容: 薄膜作成

測定室(管理室) 装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)
設置場所・公開範囲
透過型電子顕微鏡室Ⅱ 精密イオンポリシングシステム
Gatan / PIPS2 Mode l695
22号館213室・学内のみ
成膜室 イオンビームスパッタリング装置
日本真空技術社 / IBS-2000BK
22号館164室・学内のみ
マグネトロンスパッタリング装置
アルバック / VTR-151M/SRF
22号館164室・学内のみ
真空蒸着装置
アルバック / VTR-060M/ERH
22号館164室・学内のみ