キーワード: 真空蒸着

測定室(管理室) 装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)
設置場所・公開範囲
成膜室 真空蒸着装置
アルバック / VTR-060M/ERH
22号館164室・学内のみ
RCS-III 真空蒸着装置
株式会社アルバック 他 / 特注仕様
2号館601B室・学内のみ