測定対象: 半導体

測定室(管理室) 装置・機器
メーカー名 / 型番(形式)
設置場所・公開範囲
軟X線分光室 軟X線分析装置
日本電子 / JXA-8230
2号館113B室・学内外
X線マイクロアナライザー室 電界放出型電子プローブマイクロアナライザ
日本電子 / JXA-8530F
22号館402室・学内外
電界放出型走査電子顕微鏡
日本電子 / JSM-7001F
22号館402室・学内外
断面試料作製装置
日本電子 / IB09020
22号館401室・学内外
走査プローブ顕微鏡
日本電子 / JSPM-5200
22号館402室・学内外
走査電子顕微鏡室Ⅱ 走査型電子顕微鏡
日本電子 / JSM-6510
22号館401室・学内外
オージェ分析室 電界放出型オージェ電子分光装置
日本電子 / JAMP-9500F
22号館410室・学内外
光電子分光室 X線光電子分光分析装置
アルバック・ファイ / PHI5000 VersaProbe
22号館317室・学内外
2次イオン質量分析室 2次イオン質量分析装置
ATOMICA / SIMS-4000
2号館612B室・学内外
成膜室 マグネトロンスパッタリング装置
アルバック / VTR-151M/SRF
22号館164室・学内のみ
真空蒸着装置
アルバック / VTR-060M/ERH
22号館164室・学内のみ
生体物質構造分光解析室 3次元顕微蛍光寿命イメージング装置
東京インスツルメンツ / NF-3DFLIM-N03
22号館156室・学内外
RCS-IV 抵抗率/シート抵抗測定器
ナプソン株式会社 / RT-70V/RG-7C
11号館307室・学内のみ
RCS-VIII ホール効果測定システム
Ecopia社 / HMS-3000
11号館509室・学内のみ