オージェ分析室

測定原理

オージェ電子分光装置とは、電子線を固体表面に照射した時に放出されるオージェ電子のエネルギーと強度を測定することにより、固体表面の元素分析を行うものです。特に本装置は、電界放出型電子銃を搭載しており、最小プローブ系3nm(二次電子分解能)、8nm(オージェ分析)という性能で、高い空間分解能が保障されています。さらにオージェ分析には、多重検出器付きの静電半球型アナライザー(HAS)を用いており、高エネルギー分解能で高感度のオージェ分析が可能で、オージェ分析による化学状態分析にも大きな威力を発揮することができます。本装置により、高分解能二次電子像による形態観察、高倍率でのオージェ像分析、ラインプロファイル分析、そしてイオンエッチングを併用したデプスプロファイル分析ができます。また中和銃の採用により、セラミックスなどの絶縁物の分析も可能となっています。

学内利用方法および利用料金

ポータル内の機器分析受付システムに記載の注意事項を確認の上、申請してください。 利用料金は、職員ポータル共有ドキュメント内にあります。  e.センター>03-09大型設備基盤センター>01 料金表

学外利用方法および利用料金

ご相談、または受託試験を希望される学外の方は、学外利用案内をご覧下さい。