物理・表面計測系

オスミウム・プラズマコーター

オスミウムコーター
メーカー フィルジェン
型番(形式) OPC60A
設置場所 22号館409室
管理室 走査電子顕微鏡室III
公開範囲 学内のみ

「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主に走査電子顕微鏡試料用の導電性薄膜作製装置です。
試料に導電性を持たせるために通常用いられる金や白金や白金パラジウム合金などのコーティングでは、高倍率の観察では金属粒子が目立つようになりますが、上記の製膜法では非晶質のオスミウム薄膜が形成されるので、高倍率(10万倍以上)の観察でもオスミウム粒子が見えません。
また、回り込みが良いため、凹凸の大きい試料でもチャージアップしにくいという特長もあります。

装置性能および仕様

成膜速度 数nm/数秒
生成膜厚 3nm〜数100nm
最大試料サイズ 直径36mm 高さ14mm
※試料に尖った部分があると異常放電が起こることがあるので、角を落としてきてください。

コーティング例

PtPdコーティングでは金属粒子と思われる5nm前後の粒子が試料表面に見られますが、Osコーティングでは金属粒子が見られないため試料の微細な構造を観察できます

Osコートしたスギ花粉(300,000倍)

Osコーティングしたスギ花粉(300,000倍)

PtPdコートしたスギ花粉(300,000倍)

PtPdコーティングしたスギ花粉(300,000倍)

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